等距螺桿式真空泵又稱為干式真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的等距左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分

隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動。兩螺桿經精細動平衡，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿，螺桿與泵體之間都

有一定的間隙，泵工作時相互之間無摩擦，運轉平穩、噪音低，且工作腔無需潤滑油.完全可以代替油封式機械泵、水封式機械泵成為新一代的主要真空獲得設備。

主要特點：

● 結構緊湊，占地面積小。

●能抽除大量水蒸氣和少量粉塵的氣體。增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射等氣體。

● 由于真空腔內沒有油潤滑，因此粉塵不會存留在泵腔內，而是隨氣體從排氣口排出泵外。并且解決油乳化及頻繁更換工作液、頻繁維護和保養等問題，節約使用成本。

●泵腔內沒有任何的內部閥門，排除了因內部閥門而產生故障的可能性，因此對粉塵和焦油能力強。

●無廢水，廢油的的排放，對環境無污染。

● 極限真空較高，可代替大部分羅茨水環以及羅茨往復式真空機組。

● 泵腔及螺桿表面可進行鍍鎳以及滲哈氏合金涂層處理，可抽除大量水蒸氣及多種腐蝕型介質。

真空泵維修中應注意的幾個要點

一、由于泵浦精度要求比較高，在維修前需要認真檢測，不是非常必要則不必拆開,以免檢修不當,降低精度。當然涉及部分零部件性能變差或者零部件配套間隙變異時，需要對其進行調整。

二、泵浦維修時，需要按部就班，不可硬拆、強拆。并要求對拆卸的泵浦零部件進行排序標示，一邊裝配時運用。例如萊寶真空泵維修，可以按照先拆卸電機，聯軸器，端蓋、取出主軸等順序方法進行。但不管哪種泵浦在裝配時都必須保證零部件的干燥與清潔。

三、總裝配。零部件和各真空室分別裝好后,要試使其轉動一下,要保證其無阻滯絞絆現象。待.上面的前端蓋裝好后,即可從上向下穿入拉緊螺栓,拉緊后即可將機座放平。調整各真空室的進氣管,使其在同一平面上,然后把拉緊螺栓擰緊,并試轉動連接桿,其轉力矩應小于100公斤??公分,且無嚴重的局部阻滯感。.后裝好排氣閥門、單向閥等。這時可轉動鏈輪。這樣各機座就已裝配完畢。 .后按前述拆泵時相反次序裝配箱體部分。注意保證密封處不準漏氣，油密封室亦不準漏油。在泵浦試運轉之前，放入真空泵油至視油鏡的中心位置，然后進行試抽，觀察泵浦的使用效果。