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擴散泵生產中

真空操作規程只有在使用時遵守一定的操作規程,才能保證系統的正常工作。前已詳細敘述過有關機械泵、擴散泵的操作規程。經人們生產… 

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四川擴散泵

真空操作規程

只有在使用時遵守一定的操作規程,才能保證系統的正常工作。前已詳細敘述過有關機械泵、擴散泵的操作規程。經人們生產實踐,對排氣系統,也同樣總結出來一套操作規程。以高真空排氣系統為例(其他真空設備可仿照施行),其操作規程如下:

①檢查真空系統各部分,熟悉系統的氣路結構,了解真空系統各元件的作用以及操作部分的電路聯接。

②關閉放氣閥門,啟動機械泵,對系統進行抽氣,并隨時用火花檢漏器對系統各部分進行檢漏。如系全金屬系統,則可關閉閥門,用真空計讀數記下P-t曲線(作靜態升壓試驗)。如壓強隨時間呈直線上升,可斷定系統有漏氣源,應進行檢漏。

③當系統真空度達到油擴散泵的前置壓強(5×10-2托)后,啟動擴散泵,使加熱電流逐漸升到額定(.佳)值。在啟動擴散泵前,必須先開冷卻水。

④擴散泵正常工作后,用火花檢漏器(或熱偶計)判斷量測系統的真空度。到10-3托以上(熱偶計近滿偏或95格以上)才能使用電離真空計。使用時先對規管除氣,后測量真空度。

⑤對系統進行烘烤去氣處理。對玻璃系統而言,硬玻璃烘烤溫度為400℃~450℃ ,軟玻璃為350℃~400℃ 。去氣時間視具體要求而定,一般1~2小時。去氣完后,真空度仍達不到要求,應使用電離計記P-t曲線,以判斷是否漏氣。亦可用丙酮、酒精等涂抹可疑處,看表針的擺動以發現漏孔。若為去氣不良,應進一步烘烤,加長時間去氣。新系統一般要抽較長時間才能達到預期的真空度。真空度老上不去,則要考慮系統設計、安裝是否合理,有無死空間,放氣源多否,維修時是否帶進了臟物,被抽容器是否清潔等其他因素。

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